朱   煜

职称 :教授

学历 :博士

系别 :机械工程系

Email:zhuyu@tsinghua.edu.cn

电话 :

个人经历

1983.07 北京师范大学 无线电电子学系理学学士学位;

1993.09 中国矿业大学 信电学院计算机系工学硕士学位;

2001.07 中国矿业大学 机电工程学院工学博士学位;

2001.08-2004.03 清华大学 精密仪器与机械学系博士后;

2015.05至今 电子科技大学 协议教授。

科研工作

研究方向

作为国家创新团队负责人,带领清华大学9名教师、研究生与工程研究人员等组成的百余人重大科技研究攻关团队,面向IC制造装备超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统,围绕纳米级运动精度的生成,建设国内一流的精密机械、测控及集成平台,支撑超精密机电系统基础理论及关键技术研究。具体方向包括:

1. 精密与超精密机电系统结构动力学设计、分析与集成;

2. 精密与超精密运动系统建模、分析与控制;

3. 多自由度运动系统精密与超精密动态测量;

4. 高性能隔震系统设计与振动检测、主动控制。

科研项目与成果

5年主持国家级科研项目近20项,包括973、国家自然科学基金、国家科技重大专项、863等,累计科研经费近3.5亿元。主持撰写国家科技专项发展战略报告及专题研究报告30余份,出版学术专著2部,发表学术论文160余篇,其中SCI收录近40篇,EI收录近140篇。申请国家发明专利120余项(其中9项美国发明专利、14PCT专利),授权40余项(其中4项美国发明专利)

学术荣誉

1. 2012年入选国家万人计划首批科技创新领军人才,科技部重点领域创新团队带头人;

2. 2011年获科技部十一五国家科技计划执行突出贡献奖

3. 重大专项实施管理办公室产学研合作奖2011)与突出贡献奖2010

学术兼职

1. IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长)

2. 中国机械工程学会高级会员,IEEE会员,北京电子制造装备行业协会常务理事,《半导体学报》常务理事、编委,《仪器科学》编委,长期担任《机械工程学报》等国内外学术期刊审稿人;

3. 电子科技大学、中科院光电研究院、复旦大学微电子学院等兼职教授;

4. 光刻设备产业技术创新战略联盟副理事长、专家委员会副主任,沈阳IC装备产业技术创新联盟专家委员会副主任。

教学工作

教学工作

1. 清华大学机械工程学院平台课《制造工程基础》授课

2. 清华大学《现代机电工程》主讲

3. 清华大学《机械学科前沿》单元授课

硕士招生专业

085201 机械工程

1. 03方向:制造装备的检测、控制与自动化

2. 05方向:智能机电系统及光机电一体化

3. 06方向:机电系统计算机测控理论与技术

博士招生专业

080200机械工程

1. 07方向: 机电系统检测与控制

2. 09方向: 制造装备及其控制

其他获奖